保護ガラス汚れ検知

スキャナ加工ヘッドの保護ガラス汚れを検知

NMI-300による保護ガラス汚れ検知
・スパッタにレーザ照射された箇所のみ数値が上昇するため、実際の照射領域の汚染状態を検知できた。
・ヒュームの蓄積度に応じて数値が上昇する。波形の平均値に任意の閾値を設けることで検知可能。既存のパワーメータでは検知できない微小な汚れ状態を検知することができた。